About Film Thicknes Monitor
薄膜干涉(thin-film interference)是一種自然現象,主要由於薄膜上下邊界反射的光波相互干擾,導致反射光增強或減少。當薄膜的厚度是其入射光源的1/4波長的奇數倍時,則來自兩道表面的反射光波會彼此干擾而相互抵消;而當厚度是光的1/2波長的倍數時,則這兩道反射光波會相互加強。因此,當由一系列波長組成的白光照射到薄膜上時,部分波長(顏色)會增強,而其他波長(顏色)則會衰減。
在光學研究中,薄膜通常是指厚度介在奈米(10-9 公尺)到微米(10-6 公尺)範圍內的一層材料。當光線照射到薄膜表面時,會穿透上層表面,或者是在上層表面直接反射。接著當穿透的光到達底層時,可能再次穿透或反射。從上層表面和底層表面反射的兩道光,會由於光在薄膜上的入射角、光波相位差異、薄膜層的厚度或薄膜的折射率影響產生的建設性或破壞性干涉(constructive or destructive interference)。
由於入射到薄膜上的光會經由上層和下層邊界反射,因此可以計算反射光的光程差(optical path difference, OPD)來知道干涉條件。參考圖一的光線圖,兩個波之間的OPD如下:
其中
根據司乃耳定律(Snell’s Law) :
如果光程差等於光波長(λ)的整數倍,則干涉將是建設性的 :
圖一、入射光從薄膜的上層和下層邊界反射光的光程長度差異。
如圖二中顯示了兩道入射光束A(橘色)和B(綠色),照射到薄膜時,各自產生一道反射光束(淡橘色與淡綠色),這些反射光束最後組合產生新的光束C (藍色)。如上圖所示,如果反射光束具有一樣相位(phase),則產生的光束C相對較強。如下圖所示,如果反射光束具有相反的相位,則產生的光束C會衰減。
兩個反射光束的相位關係取決於薄膜中光束A的波長與薄膜厚度之間的關係。如果光束A在薄膜中傳播的總距離是薄膜中光束波長的整數倍,則兩個反射光束同相合併產生建設性相干涉(如上圖所示),光束的波長振幅變大,能量增強。如果光束A行進的距離是薄膜中光的一半波長的奇數倍,則光束會產生破壞性干涉(如下圖所示),則光束的波長振幅變小,能量減弱。
圖二、建設性相(上)與破壞性相(下)相互作用。
當光從薄膜反射時,發生的干涉類型取決於入射光的波長和角度、薄膜的厚度、薄膜兩側材料的折射率以及薄膜介質的折射率。以下生活中常見的肥皂泡為例,解釋薄膜的自然現象。
一個肥皂泡就是一個薄膜,它的表面厚度不均勻。光是由不同波長(顏色)組成,當光照射到肥皂泡,不同顏色光就會從表面反射出來。光是一種波,不同顏色有不同波長,當光波照射到一個半透明的薄膜時,一部分光被上表面反射回去,一部分被下表面反射回去,其餘的光會透射過去。
例如,當一道藍色光照射到肥皂表面,可以看見一部分光被上表面反射回去,一部分被下表面反射回去,其餘的光會透射過去。在這個位置,肥皂泡的厚度與光波的長度相對應,如此上下表面反射的光波,可以完美疊加,形成較強的藍色反射光。此時若紅色光照射到同厚度的肥皂泡,因為紅光的波長比較長,上下表面反射的光波,無法完全疊加,相互減弱,形成較弱的紅色反射光。依據此現象,可以將全光譜反射數據記錄下來,知道光波波長,所以可以利用肥皂泡顏色,確認其厚度。